碳化硅衬底是先抛光再减薄吗

2022-12-14 精选综合 4.65万阅读 投稿:廖艳

碳化硅衬底是先抛光再减薄,碳化硅衬底是指将碳化硅材料制成薄膜,并用作衬底材料的过程。在制作过程中,一般会先抛光碳化硅材料,以提高表面光洁度,然后再进行减薄处理。碳化硅,是一种无机物,化学式为SiC,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物-莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。

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